Plasmaätzer für Sauerstoff und Argon-ICP-RIE-Plasmen

APECS 04.1 Extension of galvanic equipment

Baños termostáticos y accesorios· traducción automática de TED

Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik · Berlin, DE300

Importe

743 k€

Fin del contrato

26 oct 2027

Adjudicataria

ClassOne Technology GmbH

Ofertas

1

Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478

Máquinas diversas para usos generales y especiales· traducción automática de TED

Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik · Berlin, DE300

Máximo del acuerdo marco

800 k€

Fin del contrato (estimada)

05 oct 2030

Adjudicataria

Oxford Instruments GmbH

Ofertas

1

Ex-ante-Bekanntmachung - Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478

Máquinas diversas para usos generales y especiales· traducción automática de TED

Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik · Berlin, DE300

Máximo del acuerdo marco

800 k€

Fin del contrato

04 oct 2030

Adjudicataria

Oxford Instruments GmbH

Ofertas

1

Lieferung eines Rasterelektronenmikroskop mit EDXS-Analysesystem einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

Microscopios electrónicos de barrido· traducción automática de TED

Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik · Berlin, DEA14

Importe

1 M€

Fin del contrato

02 feb 2027

FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

Máquinas diversas para usos especiales· traducción automática de TED

Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik · Berlin, DE300

Fin del contrato

11 mar 2028

Lieferung eines Rasterelektronenmikroskop mit EDXS-Analysesystem einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)

Microscopios electrónicos de barrido· traducción automática de TED

Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik · Berlin, DE300

Máximo del acuerdo marco

1 M€

Fin del contrato

01 feb 2027

Ofertas

0

Planungsleistungen

Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

Beschaffung von Hardware im Rahmen des Vorhabens BECCAL

Cerámica· traducción automática de TED

Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik · Berlin, DE300

Importe

381 k€

Fin del contrato

31 ene 2027

Adjudicataria

Cicor Microtech AG

Ofertas

1

Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026 0004 Lieferung eines Advanced Alignment Microscope for In-line-Metrology

Microscopios ópticos· traducción automática de TED

Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik · Berlin, DE300

Máximo del acuerdo marco

220 k€

Fin del contrato (estimada)

24 jun 2030

Adjudicataria

Raith BV

Ofertas

1

APECS FBH-01.3 ION BEAM ETCHING

Máquinas, aparatos, equipo y productos consumibles eléctricos; iluminación· traducción automática de TED

Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik · Berlin, DE300

Fin del contrato

06 jul 2027