Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)· traducción automática de TED
- Comprador
- Ruhr-Universität Bochum(05911-06001-11)
- Dónde
- Bochum, DEA51 · Alemania
- Importe
- 1,02 M€
- Procedimiento
- comp-dial
- Acuerdo marco
- No
- CPV
- 38000000
- Procedimiento (id)
- c859db0a-fabf-43ac-b7eb-a242bcd86fbf
- Fuentes
- TED + oeffentlichevergabe.de