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FranciaAdjudicadaPublicado 28 abr 2025

202501100951 Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure ionique réactive à couplage capacitif (RIE - CCP) utilisant des gaz fluorés

Equipo de grabado en seco· traducción automática de TED

Comprador
CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France(180 089 013 03894)
Dónde
Lille Cedex, FRE11 · Francia
Importe
593 k€
Fin del contrato (estimada)
24 abr 2027
Firma o adjudicación
24 abr 2025
Duración
24 meses
Adjudicataria
  • PTS - PUCES TECHNOLOGIES SEMICONDUCTEURS(39491752000048)
Ofertas recibidas
2
Procedimiento
open
Acuerdo marco
No
CPV
22520000
Procedimiento (id)
5c187b65-85a4-4984-a680-53a1c594f757
Fuente
TED
Anuncio oficial:TED ↗

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L’objet de ce marché concerne l’acquisition, la livraison et la mise en service de deux dispositifs de gravure ionique réactive par plasma du type RIE-CCP utilisant des gaz fluorés ou dioxygène. L’un des deux réacteurs sera dédié à la gravure exclusive des matériaux SixNy, SiO2 et Si avec un masque de résine (appelé RIE_1), le deuxième sera ouvert à la gravure de mêmes matériaux et aussi de tous les matériaux pouvant être gravés par un plasma obtenu à partir de gaz fluorés ou dioxygène (appelé RIE_2).

CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE · LILLE, 59

Importe
593 k€
Fin del contrato (estimada)
24 dic 2026
Adjudicataria
PUCES TECHNOLOGIES SEMICONDUCTEURS
Ofertas
2