202501100951 Acquisition, livraison, installation et mise en service d’un système de gravure ionique réactive à couplage capacitif (RIE - CCP) utilisant des gaz fluorés
Equipo de grabado en seco· traducción automática de TED
- Comprador
- CNRS Délégation Régionale Hauts-de-France(180 089 013 03894)
- Dónde
- Lille Cedex, FRE11 · Francia
- Importe
- 593 k€
- Fin del contrato (estimada)
- 24 abr 2027
- Firma o adjudicación
- 24 abr 2025
- Duración
- 24 meses
- Adjudicataria
- PTS - PUCES TECHNOLOGIES SEMICONDUCTEURS(39491752000048)
- Ofertas recibidas
- 2
- Procedimiento
- open
- Acuerdo marco
- No
- CPV
- 22520000
- Procedimiento (id)
- 5c187b65-85a4-4984-a680-53a1c594f757
- Fuente
- TED