L’objet de ce marché concerne l’acquisition, la livraison et la mise en service de deux dispositifs de gravure ionique réactive par plasma du type RIE-CCP utilisant des gaz fluorés ou dioxygène. L’un des deux réacteurs sera dédié à la gravure exclusive des matériaux SixNy, SiO2 et Si avec un masque de résine (appelé RIE_1), le deuxième sera ouvert à la gravure de mêmes matériaux et aussi de tous les matériaux pouvant être gravés par un plasma obtenu à partir de gaz fluorés ou dioxygène (appelé RIE_2).
- Comprador
- CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE(18008901303894)
- Dónde
- LILLE, 59 · Francia
- Importe
- 593 k€
- Fin del contrato (estimada)
- 24 dic 2026
- Firma o adjudicación
- 24 abr 2025
- Duración
- 20 meses
- Adjudicataria
- PUCES TECHNOLOGIES SEMICONDUCTEURS(39491752000048)
- Ofertas recibidas
- 2
- Procedimiento
- Appel d'offres ouvert
- CPV
- 22520000
- Fuente
- DECP