Automated TEM Analysis Platform

Optische metrologie- en inspectietoestel voor BEOL

Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)· traducción automática de TED

Imec EU Pilot line NV · Heverlee

Adjudicataria

confovis GmbH

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4

High Throughput Frontside Wet Clean Tool

Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)· traducción automática de TED

Imec EU Pilot line NV · Heverlee

TOOL VOOR ENKELWAFELVERWERKING

Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)· traducción automática de TED

Imec EU Pilot line NV · Heverlee

Adjudicataria

SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd.

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3

FEOL CLEAN CLUSTER

Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)· traducción automática de TED

Imec EU Pilot line NV · Heverlee

Digitale tester setup lot 2

Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)· traducción automática de TED

Imec EU Pilot line NV · Heverlee

FEOL PEALD PLATFORM

Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)· traducción automática de TED

Imec EU Pilot line NV · Heverlee

MASS METROLOGY TOOL

Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)· traducción automática de TED

Imec EU Pilot line NV · Heverlee

Adjudicataria

Lam Research International Sdn. Bhd.

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1

MICRO SCALE SHEET RESISTANCE PROBER

Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)· traducción automática de TED

Imec EU Pilot line NV · Heverlee

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KLA Corporation

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1

EUV TRACK (HNA/LNA)

Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)· traducción automática de TED

Imec EU Pilot line NV · Heverlee

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Tokyo Electron Europe Limited

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TDV ETCH

Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas)· traducción automática de TED

Imec EU Pilot line NV · Heverlee

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Tokyo Electron Limited

Focused Ion Beam, Scanning Electron Microscope (FIB-SEM)

Microscopios electrónicos de barrido· traducción automática de TED

Lunds universitet · Lund

Importe

27.000.000 SEK

Fin del contrato

11 mar 2028

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FEI EUROPE BV

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1

Maintenance contract for the TEM (2 years) and PFIB (4 years)

Microscopios electrónicos de barrido· traducción automática de TED

European Commission, DG JRC - Joint Research Centre · Petten

Máximo del acuerdo marco

500 k€

Fin del contrato (estimada)

18 nov 2029

Adjudicataria

FEI EUROPE BV

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1